1.真空箱氦质谱检漏仪的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。

2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。

3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。

4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。

5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。

6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。

7.真空箱氦质谱检漏仪的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。

真空箱氦质谱检漏仪的较小可检漏率（灵敏度），指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下（示漏气体采用的是一个大气压的纯氦），做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。

1、较佳工作条件。

指被检镀膜设备部件的材料出气很少，且没有较大漏孔；检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。

2、动态检漏。

指不用累积法进行检漏，检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空，装置的反应时长小于3s，3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的；

3、较小可检。

指其信号是本底噪声的两倍；

4、漏孔的漏率。

指干燥空气（100kPa的压力）经漏孔通向真空端（远远低于100kPa的压力）的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪，为表征这种反应特性，较好给出检漏装置的较小可检浓度，即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”，指处在工作压力下（工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa）的质谱室，使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时，当中氦的浓度。